羥基
溶解在石英玻璃中的水稱為羥基。羥基是石英玻璃中的主要雜質，影響羥基含量的主要因數是原料，工藝和加工方法。隨著石英玻璃中羥基含量的變化，石英玻璃的性能也發生變化。隨著羥基含量增加，石英玻璃的粘度，密度，折射率減小，紅外吸收，膨脹系數增加。
脫羥
根據羥基在石英玻璃中的表現，可以把石英玻璃分成兩類，一類是氧化氣氛生產的石英玻璃；另一類是還原氣氛熔化的石英玻璃，前者的羥基用加熱的方法難以去掉，后者容易脫掉。
氧化氣氛生產的的石英玻璃有：
（1） 合成石英玻璃，四氯化硅在氫氧焰中熱解，羥基含量1000--2000ppm左右。
（2） 氣煉石英玻璃：氫氧焰熔化石英粉，羥基含量100-200ppm。
（3） 等離子法石英玻璃：用等離子焰熔化石英粉，基含量20-30ppm。
（4） 熔石英：空氣氣氛下，熔化石英粉，羥基含量300-500ppm。
這類石英玻璃的羥基用熱處理方法難以脫掉，一直加熱到1350度，析晶溫度以上時，才可以明顯的脫羥。
還原氣氛熔化的石英玻璃：
在氫氣氣氛下熔化的石英玻璃，羥基含量100-200ppm；在900度以上加熱，可以脫掉大部分羥基。在氦氣或真空中熔化的石英玻璃羥基含量很少（5ppm以下）。
氫氣氣氛熔化的石英玻璃中的羥基和以下因數有關：
（1） 和原料性能有關
a 溶解水；b 結晶水；c 間隙水；b 表面吸附水；e 氣液包裹體；
（2） 和原料雜質含量和種類有關
a 堿金屬氧化物；b 堿土金屬氧化物；c 稀土氧化物
（3） 和熔化條件有關
溫度；時間；氣氛
（4） 和脫羥條件有關
環境，真空度；時間；溫度
氧化氣氛熔化的石英玻璃再在氫氣氣氛中二次熔化，塊料（2*10*20mm）熔化后，羥基在2.73微米的吸收峰沒有變化，羥基仍舊難以脫掉；說明熔化溫度不是造成兩種玻璃脫羥性能差別的原因。
粉狀氧化氣氛熔化的石英玻璃（粒度0.2—0.05mm）在氫氣氣氛中二次熔化后羥基在2.73微米的吸收峰有明顯變化，羥基容易脫掉，性能接近于氫氣氣氛熔化的石英玻璃。說明粒度尺寸是造成脫羥差別的重要原因。
低羥基石英玻璃粉經氫氣氣氛二次熔化，羥基由3ppm增加到100ppm，，說明氫氣氣氛是可以使石英玻璃羥基增加。
低羥基石英玻璃塊經氫氣氣氛二次熔化，羥基基本沒有變化（3ppm），說明氫氣和石英玻璃作用從表面開始（熔化時間約30分鐘）
2730鈉米的吸收是羥基的吸收峰，可以用于計算羥基含量。
用光譜吸收羥基計算的方法：
A GE公司的計算公式：C=910/T * LOG10（Ta/Tb）mm-1
C:羥基含量（C，ppm）
T:厚度（mm）
Ta:2600鈉米波長的透過率
Tb：2730鈉米波長的透過率
B：中國的國家標準計算公式：C=96.5/d * LG10（Ia/I）mm-1
C:羥基含量（ppm）
d:厚度(cm)
Ia:2730鈉米基線到零線的距離（mm）
I ：2730鈉米吸收峰到零線的距離（mm）